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发明名称 DEPOSITION OF INSULATION LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05304219(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920131318 申请日期 1992.04.27
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HASHIMOTO TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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