发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05304216(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920107171 申请日期 1992.04.27
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MIYAZAKI KAZUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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