| 发明名称 |
ELIMINACION DE CONTAMINANTES SUPERFICIALES MEDIANTE RADIACION DESDE UNA FUENTE DE ALTA ENERGIA. |
| 摘要 |
METODO Y APARATO PARA ELIMINAR LOS CONTAMINANTES SUPERFICIALES DE LA SUPERFICIE DE UN SUBSTRATO MEDIANTE LA IRRADIACION DE UNA FUENTE DE ALTA ENERGIA. EL INVENTO PERMITE LA ELIMINACION DE LOS CONTAMINANTES SUPERFICIALES SIN ALTERAR LA ESTRUCTURA MOLECULAR SUYACENTE DEL SUBSTRATO. LA FUENTE DE IRRADIACION DE ALTA ENERGIA CONSTA DE UN LASER PULSATIL (11).
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| 申请公布号 |
ES2041374(T3) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
ES19890112319T |
申请日期 |
1989.07.06 |
| 申请人 |
CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP |
发明人 |
ENGELSBERG, AUDREY C. |
| 分类号 |
H01L21/302;B08B7/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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