| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXY APPARATUS AND FORMATION OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05301794(A) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
JP19920108232 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MATSUURA KATSUYOSHI;ISHIMARU YOSHIYASU |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/08;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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