| 发明名称 |
Method of cleaning semiconductor wafers using mixer containing a bundle of gas permeable hollow yarns |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US5261966(A) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
US19920825589 |
申请日期 |
1992.01.24 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
MASHIMO, NORIYOSHI;OKUMURA, KATSUYA |
| 分类号 |
B08B3/08;B08B9/02;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/08;C23G1/02 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
