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发明名称 WIRING MATERIAL LAYER AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05304151(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920135850 申请日期 1992.04.28
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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