发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05299396(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920124317 申请日期 1992.04.17
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YOSHINO HIDEO;TANABE YASUYUKI;IKUTSU HIDEO;SOMATANI AKIFUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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