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发明名称 PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05299193(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19910199207 申请日期 1991.08.08
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO;JEOL LTD 发明人 HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;KUSAKABE KAZUTOSHI
分类号 H05H1/00;C23C14/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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