| 发明名称 |
MULTISTAGE EXCIATION METHOD OF ATOMS PROVIDED WITH ULTRAFINE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05299731(A) |
申请公布日期 |
1993.11.12 |
| 申请号 |
JP19920102687 |
申请日期 |
1992.04.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NAKAHARA KATSUHIKO;NITSUTOU KOUICHI;SHIBANO TAKAYUKI |
| 分类号 |
B01D59/34;H01S3/06;H01S3/094;(IPC1-7):H01S3/06 |
主分类号 |
B01D59/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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