发明名称
摘要
申请公布号 JPH0545011(Y2) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19820062902U 申请日期 1982.04.27
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/141;H01J37/15;H01J37/21;H01J37/24;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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