| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05299413(A) |
申请公布日期 |
1993.11.12 |
| 申请号 |
JP19920103080 |
申请日期 |
1992.04.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OZAWA YOSHIO;YAMABE KIKUO;NADAHARA SOUICHI;KOBAYASHI HIDEYUKI;TERASAKA KUNIHIRO;YAMAMOTO AKITO |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
