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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH05297059(A)
申请公布日期
1993.11.12
申请号
JP19920121046
申请日期
1992.04.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ARAI NORIO
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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