发明名称 MANUFACTURE OF INSULATING GATE-TYPE FET
摘要
申请公布号 JPH05299435(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19910089539 申请日期 1991.03.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 CHIYOU KOUYUU;YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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