发明名称 |
SEMICONDUCTOR MATERIAL AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05299339(A) |
申请公布日期 |
1993.11.12 |
申请号 |
JP19910080799 |
申请日期 |
1991.03.18 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;CHIYOU KOUYUU;KUSUMOTO NAOTO;TAKEMURA YASUHIKO |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|