| 摘要 |
<P>Le dispositif comporte une source HF (2), une enceinte à plasma (4) comportant des alimentations en gaz, une pompe à vide (50), des éléments de couplage de la source à l'enceinte à plasma, cette dernière non rayonnante ayant la forme d'un parallélépipède rectangle avec des première et seconde faces en matériau diélectrique, parallèles à la direction du champ magnétique et une troisième face aussi parallèle à ce champ, équipée d'une ouverture rectangulaire (14) pour former un plasma en forme de ruban, une enceinte de traitement contenant un porte-échantillon (18) mobile communiquant via l'ouverture avec l'enceinte à plasma. Les moyens de couplage comportent deux guides (30, 38) d'ondes linéaire de section rectangulaire orientés selon la direction de propagation des ondes et disposés de part et d'autre de l'enceinte à plasma, un cornet (36) pour coupler l'un des guides à l'enceinte à plasma dont la section s'élargit dans le sens du champ magnétique, l'autre guide étant muni d'un court-circuit (46).</P>
|
