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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05299518(A)
申请公布日期
1993.11.12
申请号
JP19920099211
申请日期
1992.04.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
KASAI MASANORI
分类号
C23F4/00;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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