发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05299495(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920124241 申请日期 1992.04.17
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 EGUCHI KOHEI
分类号 H01L21/74;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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