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发明名称 X-AXIS CUTTING APPARATUS OF WAFER
摘要
申请公布号 KR930007705(Y1) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 KR19900017331U 申请日期 1990.11.12
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. 发明人 PARK, JONG - KUN
分类号 H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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