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发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPH05299405(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920124215 申请日期 1992.04.17
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI SATOSHI;TOMA NOBUAKI;HASHIMOTO TAKAYOSHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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