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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines mit einer Dünnschicht aus Metalloxid überzogenen durchsichtigen leitenden Films.
摘要
申请公布号 DE68909618(D1) 申请公布日期 1993.11.11
申请号 DE19896009618 申请日期 1989.01.03
申请人 SUMITOMO BAKELITE CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKAMURA, KENJI, TAKATSUKI-SHI, JP
分类号 C23C14/00;C23C14/56;H01L31/18;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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