In einer Rille angeordneter monolithischer Halbleiterkondensator und solche Kondensatoren enthaltende hochintegrierte dynamische Speicherzellen.,申请号DE19863688388T-传众专利搜索

发明名称	In einer Rille angeordneter monolithischer Halbleiterkondensator und solche Kondensatoren enthaltende hochintegrierte dynamische Speicherzellen.
摘要
申请公布号	DE3688388(T2)	申请公布日期	1993.11.11
申请号	DE19863688388T	申请日期	1986.07.29
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	GOTH, GEORGE RICHARD, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;MALAVIYA, SHASHI DHAR, HOPEWELL JUNCTION NEW YORK 12533, US
分类号	H01L27/04;G11C11/403;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8229;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/102;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/82	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
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