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发明名称
Verfahren zum Herstellen von Kohlenstoffschichten auf Plastikgegenständen durch chemische Gasphasenabscheidung im Mikrowellengebiet.
摘要
申请公布号
DE3884636(D1)
申请公布日期
1993.11.11
申请号
DE19883884636
申请日期
1988.02.09
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP
发明人
YAMAZAKI, SHUMPEI, TOKYO 157, JP
分类号
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/26;H01L31/18;G03G5/082
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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