发明名称 Photosensitive Polymer.
摘要
申请公布号 EP0337698(B1) 申请公布日期 1993.11.10
申请号 EP19890303513 申请日期 1989.04.10
申请人 CHISSO CORPORATION 发明人 MAEDA, HIROTOSHI;KUNIMUNE, KOUICHI
分类号 C08G69/00;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038;H04N5/92;H04N9/79 主分类号 C08G69/00
代理机构 代理人
主权项
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