| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD AND DEVICE BY BOTH SIDE SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05295538(A) |
申请公布日期 |
1993.11.09 |
| 申请号 |
JP19930018414 |
申请日期 |
1993.02.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO YUTAKA;SASAKI SHINJI;OGAWA TSUNEO;ABE KATSUO;KANEKO SHINICHI;URA KAZUHIRO;IWAGAMI KAZUYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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