发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05294782(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920095311 申请日期 1992.04.15
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SEKI YASUYUKI;NISHIZAKI KATSUMI;MURAKAMI MASAHIRO;KANEDA HIROSHI
分类号 C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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