发明名称 |
SILICON SINGLE CRYSTAL PRODUCING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05294782(A) |
申请公布日期 |
1993.11.09 |
申请号 |
JP19920095311 |
申请日期 |
1992.04.15 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
SEKI YASUYUKI;NISHIZAKI KATSUMI;MURAKAMI MASAHIRO;KANEDA HIROSHI |
分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 |
主分类号 |
C30B15/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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