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发明名称 LASER INTERFERENCE MEASUREMENT METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05296714(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920095500 申请日期 1992.04.15
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 SEKIMOTO KIYOHIDE;YAMAGUCHI SHIGERU;TOMIOKA YASUHIRO;FUJIMOTO TATSUMI
分类号 G01B9/02;H01S3/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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