发明名称 Manufacturing method, including etch-rate monitoring
摘要
申请公布号 US5259920(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 US19910816416 申请日期 1991.12.31
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 LAW, HENRY H.
分类号 C23F1/00;C23F1/08;G01N17/00;H05K1/02;H05K3/06;(IPC1-7):B05D5/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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