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发明名称 METHOD FOR PRODUCING SILICIDE
摘要
申请公布号 JPH05294608(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920104307 申请日期 1992.04.23
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 NISHIKAWA HIDEKAZU
分类号 C01B33/06;(IPC1-7):C01B33/06 主分类号 C01B33/06
代理机构 代理人
主权项
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