发明名称 SINGLE CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05294784(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920097798 申请日期 1992.04.17
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 FUJIWARA HIDEKI;MIYAHARA SHUNJI;FUJIWARA TOSHIYUKI;KUBO TAKAYUKI;INAMI SHUICHI
分类号 C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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