| 发明名称 |
TI-W BASED SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05295531(A) |
申请公布日期 |
1993.11.09 |
| 申请号 |
JP19920101427 |
申请日期 |
1992.04.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YAMANOBE TAKASHI;SATO MICHIO;ISHIGAMI TAKASHI;OBATA MINORU;KAWAI MITSUO;YAGI NORIAKI;MAKI TOSHIHIRO;ANDO SHIGERU |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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