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发明名称 METHOD FOR CLEANING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05295577(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920104774 申请日期 1992.04.23
申请人 KYOCERA CORP 发明人 SAITO MAKOTO
分类号 C23G5/028;B08B3/08;(IPC1-7):C23G5/028 主分类号 C23G5/028
代理机构 代理人
主权项
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