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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05295549(A) 申请公布日期 1993.11.09
申请号 JP19920098421 申请日期 1992.04.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAGAKI TETSUYA
分类号 C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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