发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291298(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920092834 申请日期 1992.04.13
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 BENZAKI KIYOTAKA
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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