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发明名称 HEAT TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05291164(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920114096 申请日期 1992.04.07
申请人 SONY CORP 发明人 SATO TAKUO;KAISE KIKUO
分类号 H01L21/336;H01L21/22;H01L21/324;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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