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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05290789(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920085286 申请日期 1992.04.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OISHI TAKAYUKI;MUTO HIROTAKA;FUJII HARUHISA;NAKANISHI KOICHIRO
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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