发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05291506(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920119805 申请日期 1992.04.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAZAWA HIROYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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