| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR FORMING TRANSPARENT FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05291146(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
| 申请号 |
JP19920085296 |
申请日期 |
1992.04.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SANO HIDEZO;TAKADA ATSUKIMI;HONGO MIKIO;KAMIMURA TAKASHI;MIZUKOSHI KATSURO |
| 分类号 |
C23C16/52;G01B11/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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