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发明名称 LIQUID EPITAXIAL DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291157(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920086942 申请日期 1992.04.08
申请人 SHARP CORP 发明人 OTA KIYOHISA
分类号 C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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