发明名称 MANUFACTURE OF NONVOLATILE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291587(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920088807 申请日期 1992.04.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGIMAE KIKUKO;ENDO TETSUO;ARITOME SEIICHI;SHIRATA RIICHIRO
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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