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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291412(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920088749 申请日期 1992.04.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSADA TOSHIHIKO
分类号 H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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