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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0580093(B2) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19840254001 申请日期 1984.12.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE HISAMITSU;EBINE TAKAO;TAKAHASHI FUMIO
分类号 H01J31/20;H01J9/227;H01J29/34;H01J31/12;(IPC1-7):H01J9/227 主分类号 H01J31/20
代理机构 代理人
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