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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291543(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920094693 申请日期 1992.04.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WARASHINA TAKU
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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