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发明名称 FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH05291357(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920118215 申请日期 1992.04.10
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 IMADA MASAFUMI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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