发明名称 |
ROTARY TREATMENT APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05291232(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
申请号 |
JP19920114047 |
申请日期 |
1992.04.07 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
SHIRAISHI HIROBUMI |
分类号 |
H01L21/304;F26B5/08;F26B11/04;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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