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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291177(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920087393 申请日期 1992.04.09
申请人 SONY CORP 发明人 MUROYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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