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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH05291155(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920114161 申请日期 1992.04.07
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANAZAWA GENICHI;MATSUMOTO OSAMU
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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