| 发明名称 |
BARRIER METAL OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05291560(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
| 申请号 |
JP19920085545 |
申请日期 |
1992.04.07 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON |
发明人 |
KAWASHIMA IKUE;HANAOKA KATSUNARI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/43;(IPC1-7):H01L29/46 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
