| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05291098(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
| 申请号 |
JP19920090781 |
申请日期 |
1992.04.10 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YOSHIKAWA KIYOSHI;TSUKADA MITSUKI |
| 分类号 |
B24B7/22;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
