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发明名称 VACUUM VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05291143(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920121354 申请日期 1992.04.15
申请人 NEC CORP 发明人 KOIKE NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;B01J19/00;C30B25/16;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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