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发明名称 MANUFACTURE OF CONTACT BETWEEN WIRINGS IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291172(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920087091 申请日期 1992.04.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO MASAHIRO
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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